纳米薄膜的定量表征

纳米材料通常在透射电镜(tem)中进行研究.然而，在扫描电子显微镜(sem)对纳米材料进行定量表征可以应用更大的视野，包含更多的样品信息。为此布鲁克开发了同轴TKD技术,目前为止,它已成为是一项基于扫描电镜的成熟技术,可以使用EBSD硬件在纳米尺度上进行取向分布测试。在此应用示例中，在feg-sem使用e-Flash FS探测器中用擎天柱跆拳道探头对Au和Pt薄膜的取向分布图进行测量。我们在低探针电流(<3 nA)下实现高速TKD测量，从而克服电子束漂移并实现超高空间分辨率。这个样品在20分钟内测量了1000颗晶粒,最小晶粒仅为20海里,并解析了孪晶晶界等超细结构(3海里)。