纳米结构薄膜的定量表征

纳米材料通常被研究在透射电子显微镜(TEM)。然而，它是有可能定量表征纳米材料从受益的大视场的扫描电子显微镜(SEM)。的轴上跆拳道技术就是为了这个目的而发展起来的;它现在是一种成熟的基于sem的方法，使用EBSD硬件在纳米尺度上进行方向分布测量。在该应用实例中，测量了金、铂薄膜的取向分布e-Flash FS探测器改装擎天柱跆拳道头部在FEG-SEM中。在低探头电流(<3 nA)下实现高速TKD测量，从而克服光束漂移并实现超高空间分辨率:在20分钟内测量了超过1000个晶粒，最小晶粒尺寸为20 nm，超细特征如孪晶边界被解析(3nm)。