纳米结构薄膜的定量表征

纳米材料通常被研究于透射电子显微镜(TEM)。然而，利用光学显微镜的大视场，可以定量地表征纳米材料扫描电子显微镜(SEM)。的轴上跆拳道为此目的发展了技术;现在，利用EBSD硬件，基于sem的纳米尺度定向分布测量方法已经得到了很好的应用。在本应用实例中，用红外光谱测量了金、铂薄膜的取向分布e-Flash FS探测器改装擎天柱跆拳道脑电图扫描电镜。在低探针电流(<3 nA)下实现高速TKD测量，从而克服光束漂移并实现超高空间分辨率:在20分钟内测量了1000多个晶粒，最小晶粒尺寸为20 nm，并解决了孪晶界等超细特征(3nm)。