纳米结构薄膜的定量表征

纳米材料的研究通常是在透射电子显微镜(TEM)。然而，它是可能的表征纳米材料定量得益于大领域的观点扫描电子显微镜(SEM)。的轴上跆拳道技术就是为此目的而发展起来的;现在，基于sem的方法已经很成熟，可以使用EBSD硬件在纳米尺度上进行定向分布测量。在本应用实例中，用激光测量了金和铂薄膜的取向分布e-Flash FS探测器改装了擎天柱跆拳道头部在FEG-SEM中。在低探针电流(<3 nA)下实现高速TKD测量，允许克服光束漂移并实现超高空间分辨率:在20分钟内测量了1000多个晶粒，最小晶粒尺寸为20 nm，孪晶界等超细特征被解决(3nm)。