定量表征纳米薄膜

纳米材料通常是调查透射电子显微镜(TEM)。然而,它可以定量表征纳米材料的利益大的视野扫描电子显微镜(SEM)。的轴上跆拳道技术开发这一目标;它现在是一个建立SEM-based方法生产使用EBSD取向分布测量在纳米尺度上的硬件。在这个应用程序示例中,金和铂薄膜的取向分布测量e-Flash FS探测器retroffited与擎天柱跆拳道FEG-SEM头。实现高速跆拳道测量探针电流较低(< 3 nA)允许克服光束漂移和实现超高空间分辨率:在20分钟内超过1000粒测量最小的粒度是20 nm和超细特性,比如双边界(3海里)解决。