电子显微镜分析

TEM的定量分析

用于STEM, TEM和T-SEM的能量色散x射线光谱仪

纳米级元素映射

定量元素映射

突出了

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有TEM中硅漂移探测器的使用经验
探测器材料和驱动电子设计用于快速、精确和可靠的数据采集,不干扰高端TEM性能,即使在原子分辨率。
80
凯文
前所未有的元素ID和量化的能量上限
具有tem特有的高能电子,因此,用于定量EDS的高能元素线
1
原子
单原子ID和原子列映射
单原子识别使用高立体角XFlash 6T探测器结合高端高亮度冷FEG像差校正STEM数秒内

TEM、STEM和SEM (T-SEM)在纳米尺度上的EDS元素映射

清晰的多功能测量设置和纤细的几何形状确保快速可靠的TEM EDS日常数据。高光谱图像是通过所谓的HyperMaps或Spectrum images获得的。每像素光谱和所有元数据需要正确的定量分析保存检查和处理。

  • 细线设计和几何优化的每个显微镜极片类型,确保最大的收集和起飞角度。
  • 有助于避免试样倾斜,吸收,阴影和系统峰值。
  • 无窗探测器进一步提高检测效率,特别是在低能量区域的k线的光元素和L-, M-和进一步的线的高z元素。
  • 自动收缩默认和自定义确保长探测器寿命和多功能实验。
  • 自动监测现场和操作过程中的实验,如加热材料,其中化学变化被实时记录
  • 全面的软件套件精神用于在线和离线的数据分析。

好处

在线和离线TEM EDS软件

QUANTAX TEM EDS包含一个灵活透明的分析软件包思捷环球.默认和可调方法允许快速和全面的元素映射数据挖掘,所谓的HyperMaps或光谱图像,以及定量元素映射的生成。基于标准和非标准的量化程序的光谱,对象,线扫描和元素映射,以及基于PCA的相位分析和自动统计粒子分析。

  • 离线分析软件,具有个人硬件密钥和/或局域网选项,适用于学生或实验室网络。
  • 开放透明的用户界面:所见即所得。
  • 清晰设置,修改和保存/重新加载EDS数据量化例程。
  • 电子透明样品的两种定量方法:Cliff-Lorimer-法和zeta -因子法。
  • 理论克利夫-洛里默系数可以计算为任何电压,包括低电压扫描电镜(TEM, SEM),使用一个稳定更新的大型原子数据库。
  • 简单的软件引导校准实验Cliff-Lorimer-和zeta -因子使用标准标本。
  • 所有元素的zeta因子可以用现有的cliff - lormer -factors从少数元素标准中计算出来。
  • 背景模型的选择:电子透明和大块样品的物理模型,以及数学背景计算。
  • 使用不同模板生成报表。

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元素分析在TEM中的应用领域

半导体
NiSi(Pt)光谱在低x射线能量下的反褶积结果

NiSi(Pt)-NiSi2半导体结构中Pt浓度的定量研究

本应用实例给出了铂合金NiSi薄膜外延生长的EDS数据,并对NiSi中少数%的铂合金进行了定量分析。NiSi被用于纳米尺寸的金属化结构的半导体器件,如mosfet。
分层系统的组合元素映射

层状结构的化学相分析

在不应用先验知识的情况下,检查高光谱图像是否存在化学相是有利的。bob电竞安全吗通过分析基于光谱主成分分析的HyperMap, Bruker的ESPRIT自相自动找到相似成分的样品区域。这个程序的灵敏度可以调整。以截面上的多层结构为例,对该方法进行了验证。
纳米线的混合元素图

纳米线的化学表征

纳米结构,如纳米线、纳米棒和功能化纳米载具,在纳米技术的各种应用中日益引起人们的兴趣,无论是纳米电子还是人体药物输送。bob平台靠谱吗
石墨烯中的单个硅原子

识别石墨烯上的单个原子

获得单个原子的光谱不仅是能谱学的最高技术,而且还能提供有关特定元素的激发特性的有价值的新信息。
互连结构的高角度环形暗场图像

半导体互连体的化学组成

标准的能量色散x射线能谱(EDS或EDX)在传统的扫描透射电子显微镜(STEM)上使用30mm2的探测器区域,可以在几分钟内提供纳米分辨率的元素映射。条件是,探测器头足够小(在细线设计中),以尽可能接近(高立体角)和标本上方(高起飞角)的标本。后者有助于避免阴影和吸收效果。
RAM微芯片元素分布图

利用SEM (T-SEM)进行半导体RAM微芯片的STEM-EDS高分辨率映射

基于x射线的半导体纳米结构元素分布映射方法并不总是直接的。纳米尺度的空间分辨率和x射线峰值重叠是研究半导体材料的共同挑战。有时,使用扫描电镜而不是昂贵的TEM工具和时间来进行表征是有益的。