原位扫描电镜纳米力学与扫描探针显微成像
基于力反馈的样品表面地形成像
bob电竞安全吗布鲁克的行业领先的Hysitron®扫描探针显微镜(SPM)现在可用于原位扫描电子显微镜(SEM)Hysitron PI 89 SEM picointter．通过在传感器的闭环控制中使用压电驱动扫描级，尖端可以相对于样品快速光栅化，具有纳米级精度。这使得基于力反馈的样品表面的地形成像成为可能。
(a)大块金属玻璃原位纳米压痕的SEM图像;(b)原位纳米压痕的SPM图像;(c)沿压痕剖面可以量化滑移带形成的堆积量和阶跃。
(a)大块金属玻璃原位划痕的扫描电镜图像;(b)原位微划痕SPM图像;(c)跨越划痕的剖面可以量化滑移带形成的堆积量和台阶。
尽管通过SEM的二次电子成像可以获得高分辨率的表面特征，但获得定量的地形数据仍然具有挑战性。SPM可以通过使用与用于执行压痕测试相同的探针对样品表面成像来解决这个问题。这提供了样品特征的准确高度信息，以及表面粗糙度等相关参数。这种能力对于分析测试后的变形也特别有用，比如测量纳米压痕和划痕的堆积或下沉。
