스캐닝프로브현미경을갖춘갖춘갖춘
힘피드백기초샘플표면의지형진찰진찰
브루커의최고의의®스캐닝프로브검사（SPM）은은Hysitron Pi 89 SEM Picoindenter와함께시상전자검사（SEM）에사용수있습니다있습니다。트랜스듀서하여루프제어에서압조를활용함함으로써으로써으로써으로써으로써으로써으로써팁은나노스케일스케일정밀정밀도로신속신속하게하게시료시료에에에에비비비비해해래스터링될있다있다있다。이를피드백기반으로샘플의이미징을하게합니다합니다합니다。
（a）벌크메탈릭에내부나노핀들여쓰기의이미지이미지;（b）시상나노핀덴티션spm이미지;및（c）들여쓰기에프로파일슬립밴드의해된더미및단계를정량화할수있습니다있습니다。
（a）벌크메탈릭에내부스크래치의의이미지;（b）spm내스크래치;및（c）스크래치에프로파일슬립밴드의해된볼륨과단계를정량화할수있습니다있습니다。
sem sem의의전자을하여고해상도로수있지만적지형지형데이터를얻는것어렵습니다어렵습니다어렵습니다。spm은한를하여테스트하는데되는되는표면표면이미지화화하여이문제를해결할할할있습니다있습니다。이를피처정확한정보표면거칠기같은관련매개변수를제공합니다합니다。이기능나노및트랙더미또는을측정하는것과같은시험후후변형을분석분석데데특히특히유용합니다합니다。
