具有扫描探针显微镜成像的原位SEM纳米力学
基于力反馈的样品表面的地形成像
bob电竞安全吗布鲁克的行业领先的蜂窝子®扫描探针显微镜（SPM）现在可用于与原位扫描电子显微镜（SEM）一起使用Hysitron Pi 89 SEM Picoindenter。通过使用传感器在闭环控制中利用压电驱动的扫描阶段，可以用纳米级的精度快速将尖端栅栏相对于样品进行光栅。这可以根据力反馈对样品表面进行地形成像。
（a）散装金属玻璃上的原位纳米识别的SEM图像；（b）原位纳米引导的SPM图像；（c）整个压痕的轮廓可以量化堆积的体积和滑动带形成的步骤。
（a）在散装金属玻璃上的原位划痕的SEM图像；（b）原位微抓手的SPM图像；（c）整个划痕的轮廓可以量化堆积量和滑动带形成的步骤。
即使可以在SEM中使用辅助电子成像以高分辨率查看表面特征，获得定量地形数据也很具有挑战性。SPM可以通过使用相同的探针来映像样品表面与用于执行压痕测试的样品表面的成像。这提供了样本特征的准确高度信息以及相关参数，例如表面粗糙度。该功能对于分析测试后变形，例如测量纳米凹痕和刮擦轨迹的堆积也特别有用。
