原位扫描电镜纳米力学与扫描探针显微镜成像
基于力反馈的样品表面形貌成像
bob电竞安全吗布鲁克行业领先的超光速加速器®扫描探针显微镜(SPM)现在可用于原位扫描电子显微镜(SEM)Hysitron PI 89 SEM picindenter。在传感器的闭环控制下，利用压电驱动的扫描级，可以以纳米级精度快速对样品进行光栅化。这使得基于力反馈的样品表面的地形成像成为可能。
(a)大块金属玻璃上原位纳米压痕的SEM图像;(b)原位纳米压痕的SPM图像;(c)跨压痕剖面可以量化滑移带形成的堆积量和台阶。
(a)大块金属玻璃上原位划痕的SEM图像;(b)原位微划痕的SPM图像;(c)划痕剖面可以量化滑带形成的堆积量和台阶。
尽管表面特征可以通过扫描电镜的二次电子成像以高分辨率显示，但获得定量的地形数据是具有挑战性的。SPM可以通过使用与执行压痕测试相同的探针对样品表面成像来解决这个问题。这提供了准确的高度信息的样本特征，以及相关参数，如表面粗糙度。这种能力对于分析测试后的变形也特别有用，例如测量纳米压痕和划痕轨迹造成的堆积或下沉。
