半导体タンタルにおけるピークオーバー解决解决

1.6-1.9 kevのののののののスペクトル,,

タンタルはや机器机器の耐酸化または性性使用使用さされれますますます。。タンタル,,はは,,,,ウエハウエハウエハウエハの半导体材料において

品质中高い分解能を実现するには,低低で解析解析解析ををを行う行う行う行う必要必要があり,,,マイナーマイナーななフェーズフェーズフェーズフェーズフェーズのの同定同定同定がが复雑复雑复雑复雑sikα线线线大きく重なってい。。。

结果として一ののののピークは広がり二次元素元素の存在をを覆い覆いますます。优れ优れ优れたたピークQuantax WDSを使用て十分することができます。