新!无窗高采集角EDS探测器，100 mm²椭圆形硅漂移探测器区域

我们发布了一种新型的大采集角EDS探测器，其椭圆形的SDD面积为100 mm2XFlash^®6 t - 100椭圆形TEM和STEM，以及XFlash^®6 - 100椭圆形为SEM和T-SEM。

本次网络研讨会将介绍探测器的特性，显微镜探测器几何结构的细节，以及各自的数据采集和分析。将解释不同大采集角EDS设置的定性和定量元素映射(图1、2)，并与标准EDS获得的结果相关。

该探测器在TEM/STEM高起飞角(约12°)下提供0.4 sr至0.7 sr的采集角，在SEM上提供高达0.4 sr的采集角。与显微镜制造商合作，为每种特定的显微镜类型优化了检测器的极片几何形状。这使得在纳米尺度上快速和常规的元素映射不影响显微镜的性能，适当的电子探针质量和提供的样品制备。在STEM中，原子柱EDS(图3，[1])以及单原子识别[2]成为可能。

［1］室温多铁材料中磁性离子分配的直接原子尺度测定L. Keeney等，科学报告7，文章编号:1737(2017)，开放获取

[２]用x射线光谱学鉴定单个杂原子R. M. Stroud等人，APL 108, 163101(2016)，开放存取

• 来自工业和学术界的科学家和应用科学家在显微镜和无机和有机材料的表征
• 对高效、快速、高空间分辨率的TEM、STEM高端EDS领域感兴趣
• 对电子透明样品的标准EDS感兴趣