Ermöglicht TKD-Mapping Nano-Scala im immersionsllinsen /UHR-Modus entsprechender fe - sem

我们看了纳米结构探针的细节

纳米技术的大规模应用höchste Auflösung在Rasterelektronenmikroskopie (REM)上ausgelöst。在我们的生命中,我们最终会räumliche Auflösung在我们的生命中,我们会成为磁性的浸入者。在此基础上,我们设计了一套定位图unmöglich。在此基础上,对磁feld模型进行分析并分析其传输模式(TKP) stört。我最好的朋友是:

  • 我的电子邮件是为了给我的电子邮件beschränkt (mit Feld)。
  • 它的图案可以是Magnetfeld verzert, gedret和verschoben。

在此之前:kikuchi信号可以再放大,最大为10mm。他是我们的光学老师,他是我们的老师Standard-EBSD-Detektor,在恩费尔农的Regeln进行磷矿研究,在扫描电镜平板上的15毫米光学设备,können。死的军队OPTIMUS 2ermoglichte同轴的TKD-Techniklöst有问题,在你死后,你会看到光。

Zum zweiten Punkt: Die starken Verzerrungen, Die durch Die Präsenz des Magnetfeldes in TKPs entsteen, machen eine genaue Banderkennung unmöglich。在我们的工作中,有一个新的软件功能(专利)命名为ESPRIT FIL TKD(全浸式镜头TKD)。这个选项在自动映射程序中可以使用vollständig精灵2integriert。

模具组合aus FIL TKD- software - option和On-Axis TKD ermöglicht在korrektes定向绘图,mit high end - fe - rem im ultra - resolution - modus, d.h. im aktivem Immersionslinsen-Modus。

Abb. 1a: nitt korrigiertes transmission - kikuchi - muster (TKP), aufgenome in On-Axis tkd - geometrimit aktivem Magnetfeld (Immersionslinse eingeschaltet)
Abb. 1b: TKP von Abb.1(链接)nach Korrektur mit FIL-TKD
Abb. 1c:在Abb.1 (Mitte)的基础上,我们将在晚上的时间里沉入海底

在德国Abb. 2(*)的TKD-Ergebnissen中,这一结果和Vorteile dieseleinzigartigen结合了HW和SW选项。模具质量图(链接)zeigen, dass räumliche Auflösung beder Aktivierung der Immersionslinse deutlich besser ist。我的Orientierungsmapping mit aktiver Immersionslinse sind Körner/功能feiner als 10 nm deutlich zu erkenen。

Abb. 2: Unbearbeitete on -轴tkd - mappings des selben Bereichs eines 20 nm Au-Dünnfilm ohne Magnetfeld im analytischer Modus (oben)和mit Magnetfeld im ultrahochauflösendem Modus (unten)。Beide映射wurden mit den gleichen参数für Strahlstrom, Beschleunigungsspannung, TKD-Detektoreinstellungen und Schrittgröße (3 nm) aufgenome。斯卡拉雷达100nm。我们的方向图是我们想要的。Die Ergebnisse stammen von Alice Da Silva Fanta von DTU Nanolab在Dänemark。

(*)在此之前,我们已经了解了所有的质量和细节TKD-Lösung,我们已经了解了所有的细节,我们已经知道了所有的细节。Die TKD-Mappingauflösung and Indizierungsqualität kann zwischen Immersions- and nicht - immer- modi relevanter REMs我将模型和/订购Hersteller sowie Raumumgebung (z. B. temperature, Bodenschwingungen, Akustik usw.) varieren。