轴上传动- kikuchi - beugung im REM

Kurze Geschichte

擎天柱TKD德特克托考夫

Die transmission - kikuchi - beugung, auh bekannt als t-EBSD, wurde erstmals im Jahr 2012 vorgestellt(1)这是一种技术的结合,räumliche Auflösung mindestens eine Größenordnung besser ist als die der Standard-EBSD.Bei dieser Technik wid eine elektronen-transparente探头水平序列序列,d.h. senkrecht oder nahesu senkrecht zum Elektronenstrahl,定位序列am Normalzumt und in standard - ebsd -检测器异常序列,dass er er in Kikuchi-Pattern unterhalb der探头序列。

bob电竞安全吗Bruker erkannte das潜在内燃机技术和开始eine Zusammenarbeit mit einem Forscherteam der Lorraine University in Metz, Frankreich, um die Einschränkungen im Zusammenhang mit der nicht idealen probe - detekter - geometrie anzugehen。Aus dieser Zusammenarbeit entstand das Prinzip einer neuen probe - detecktor - geometrie, die als“On-Axis TKD”(2)bekannt ist und zur Einführung des擎天柱TM跆拳道Detektorkopfes fuhrte。Dieser neue Detektorkopf verfügt über einen horizontalen phospschirm, der direckt在elektronentransparenten探针定位werden kann, wobei die optische Achse des REMs das Zentrum des phospschirms schneidet, was den Ursprung des Namens“On-Axis”TKD erklärt。Diese Konfiguration hat den Vorteil, kikuchi patterns mit der stärksten Signalausbeute und den geringsten gnomonischen Projektionsverzerrungen zu zeigen(3)

Der OPTIMUS TKD Detektorkopf

Seit seiner Einführung im Jahr 2015 ist擎天柱跆拳道die einzige kommerzielle Lösung, die On-Axis TKD im REM ermöglicht und die sich aufgrund ihrer Fähigkeiten als führende TKD-Lösung etabliert hat。

Unubertroffene Leistung

Niedriger Strahlstrom -擎天柱TKD ermöglicht东方地图和东方地图räumlichen Auflösung im Nanometerbereich mit Hunderten von Punkten pro Sekunde bei nicht mehr als 2 nA Strahlstrom und mit hervorragender Datenintegrität oder Indizierungsqualität。

Räumliche Auflösung - Mit einer räumlichen Auflösung von mindestens 2 nm (bei Verwendung eines hochleistongs - feldemissions - rems) zeigt OPTIMUSTKD细节,模具kleiner als 10nm oder sogar kleiner als 5nm sind (siehe Anwendungsbeispiele unten)。

Patentierter TKD-Probenhalter

Einfach zu bedienen

Nicht bearbeitetes orienterungs - map einer 20 nm dünnen Au-Schicht(链接)和vergrößerter Bereich (rechts), der Rekristallisationszwillinge von 4 nm Breite zeigt。mes参数:30 kV EHT, 2 nA Strahlstrom, 1.5 nm Schrittweite, 11.5% Nulllösungen, 320 fps Geschwindigkeit, 6:31min meszeit。请访问哥本哈根德国工业大学纳米实验室的Genehmigung von Alice Da Silva Fanta,网址:Dänemark。

Der擎天柱TKD-Detektorkopf kann bei allen bob电竞安全吗BrukereFlashEBSD-Detektoren对战窝Standard-detektorkopf ausgetauscht了,sa dass麻省理工学院demselben Detektor EBSD——和TKD-Messungen moglich信德。Je nach Anforderung an die Messung, zum Beispiel die räumliche Auflösung, können geübte Nutzer在10 - 15分钟内zwischen TKD- and ebsd - analyze wechseln。擎天柱TKD funktioniert perfect fekt in Kombination mit dem patentierten TKD- probenhalter (EP 2824448 A1)

integrertes ARGUS-Bildsystem für Hellfeld- und Dunkelfeld-ähnliche Bilder

我爱你,我爱你,我爱你TKD mit einem integrertenARGUS™Bildgebungssystem entwickelt。Die hohe Qualität und hohe Empfindlichkeit der Festkörperdetektoren geben dem Nutzer Die Möglichkeit, brillante Hellfeld- und Dunkelfeld-ähnliche Bilder mit einer Auflösung im纳米贝里希贝Geschwindigkeiten von bis zu 125k庞克滕/塞克。aufzunehmen。Diese Bilder liefen nur定性信息,aber sie zeigen wichtigeMikrostrukturdetails wie Orientierungs und Phasenkontrast, Versetzungen und Stapelfehler oder in bestimmten Fällen sogar Restspannungen。

Falschfarben-Hellfeld-(链接)und Dunkelfeld- (rechts) Aufnahme einer 20 nm dünnen Au-Schicht und PtNi-Nanopartikel, die durch聚合配体zusammengehalten werden。

同时TKD和eds消息

TKD-Phasen-Map nach离线相位识别和EDS-gestützter重新分析(链接),专利TKD-Probenhalter mit Röntgenmaske(本rechts)和XFlash FlatQUAD eds检测器(unten rechts)。mes参数:30 kV EHT, 6,7 nA Strahlstrom, 10 nm Schrittweite, 272 pps Geschwindigkeit, 1.5 Mcps Eingangszählrat, 1 Mcps Ausgangszählrate,每光谱/像素<3000计数。

Eine der am meisten geschätzten Funktionen des QUANTAXEDS/EBSD系统组合和集成柴油beiden Techniken, die auh für elektronentransparente Proben verfügbar ist和durch die组合des
eFlash FSEBSD探测器mit einzigartigenXFlash®FlatQUADEDS探测器向leistungsstark野区发起攻击。北德Detektoren bieten unübertroffene Daten-qualität, räumliche Auflösung和Durchsatz和arbeiten perfekt zusammen在neu entwickelten的专利下的TKD-Probenhalter Röntgenmaske。

Wichtige Spezifikationen

  • Räumliche Auflösung für Orientierungs-Maps: 2 nm oder besser
  • Räumliche Auflösung für Hellfeld- und Dunkelfeld-ähnliche Bilder: 1.5 nm oder besser
  • Kleinste aufgelöste地图中的细节:4 nm kleine Rekristallisationszwillinge in Au
  • bis zu 630 fps(帧/Sekunde)
  • ht - bereich: 5-30千伏
  • Strahlstrom: mindestens 95% der Analysen benötigen nicht mehr als 2 nA

Publikationen

(1)扫描电子显微镜中10纳米畴的透射EBSD, R. Keller和R. Geiss,显微镜杂志,卷245,Pt 3 2012,页245 - 251

(2)轴上探测器透射扫描电镜定位j·j·芬登伯格等人。中国生物医学工程学报(英文版),2016

(3)系统比较了轴上和轴外透射菊池衍射, F. Niessen等,超显微技术,186,158-170,2018