在某些fe - sem的浸泡/UHR模式下实现纳米级TKD映射

最近纳米技术的大规模应用引发了一场扫描电子显微镜(SEM)最高分辨率的竞赛。实现最终空间分辨率的一种方法是使用磁浸没透镜。在此之前，使用浸没式镜头使得定位不可能。这是因为透镜产生的磁场干扰了传输菊池图(TKP)的收集和分析过程。干扰有两个主要部分:

• 散射电子被限制在扫描电镜光轴周围的狭窄空间内(见下面“带场”的TKP)。
• 菊池图案被磁场扭曲、旋转和移动。

首先，Kikuchi信号被缩小到一个从SEM光轴扩展到10毫米的区域。这种围绕光轴的电子包围意味着很少有散射电子能达到标准EBSD探测器，通常将其荧光屏放置在距离SEM光轴大于15毫米的地方。轴上跆拳道技术由OPTIMUS 2通过从扫描电镜光轴周围捕捉菊池图案来解决这个问题。

其次，tkp中磁场的存在造成了严重的扭曲，使得不可能进行精确的波段探测。为了纠正扭曲并补偿tkp中的旋转和移位，我们开发了一种新的软件功能(正在申请专利)，称为ESPRIT FIL TKD(全浸入镜头TKD)。该特征易于校准，并已充分集成在自动地图采集过程中精灵2软件

将FIL TKD特征与轴上TKD相结合，可以在超高分辨率模式下使用高端fe - sem进行精确的方向映射，即在浸没镜头激活的情况下。

图2(*)所示的TKD结果清楚地显示了这种HW和SW选项的独特组合的最终结果或好处。模式质量图(左)定性地表明，激活浸泡镜头时，物理空间分辨率要好得多(更清晰的特征)。在浸没透镜激活时获得的定向图中，可以清楚地看到小于10 nm的晶粒/特征。