未知多相材料的物相识别和分布分析

图1.1:描绘Fe-Si陶瓷复合合金材料微观结构的花样质量图;EBSD和EDS图是分别使用安装在房子IT200扫描电镜上的eFlash XS和XFlash EDS探测器同步采集的。

Quantax ed-xs是一个完美集成eds和ebsd的系统，适合使用EDS或EBSD单独或同时分析的各类应用。它创新而强大的功能与优化的工作流程相结合,简化了数据采集过程,在分析样品中未知的晶体相过程中最大限度地提高了SEM效率。

通过同时获取EBSD图和EDS HyperMap,在无需了解样品物相的情况下,可最大限度地减少SEM的使用。在我们采集数据后，可将包含eds和ebsd数据的图进行离线处理，以舒适高效的方式使用精灵2》超快再分析模块，识别存在的所有物相并快速完成解析。

图1.2:花样质量图与硅晶粒(红色)的物相图重叠;为了最大限度地减少在未知样品上设置物相的时间,布鲁克EBSD测量可以只设置一相然后启动采集,无需添加所有物相,这样所有其它物相都可以离线识别,在后期使用ESPRIT软件的极端再分析功能完成分析

图1.3:离线使用“高级阶段ID”功能(第一部分);多种自动和半自动功能有助于用户完成这一过程,例如,基于EDS结果对物相候选项进行半自动搜索,所有候选物相自动和超快标定,基于符合实验花样的结果自动分类排序等。

图1.4:离线使用的“高级阶段ID”功能(第二部分);天蓝色的区域表示锆硅晶粒(ZrSi2); EBSD结果图在13秒内以超过24000点/秒的速度重新分析。

图1.5:“高级阶段ID”功能的离线使用(第三部分);Fe-Si陶瓷材料的完整物相图,其中包含六个不同晶体相;6个物相的重新分析需要48秒速度超过6500点/秒。未应用数据清理！

图1.6:EDS HyperMap,显示Fe-Si陶瓷合金中钛、钙、锆、Ag)和C图的分布图。图中30.9万个像素点,每一个点都包含一个EDS谱,这些谱图是在EBSD图采集过程中同步获得的;Ag)和C的富集区是由于Ag糊状物以及环氧树脂材料在抛光过程中嵌入样品中裂纹或孔隙。