鲜为人知的含有材料的相位识别和分布分析
图1.1：图案质量图，描绘了高度合金的Fe-Si陶瓷复合材料的微观结构；EBSD和EDS地图是使用Eflash XS同时获得的，并分别安装在JSM IT200 SEM上的Xflash EDS检测器。
Quantax ED-XS是一个完全集成的EDS＆EBSD系统，可实现多种分析类型eds或者EBSD单独或同时涉及两种技术。创新和强大的功能与优化的工作流相结合，简化了数据采集过程，并最大程度地提高了SEM效率，以进行分析，例如识别样品中存在的未知晶体学阶段。
通过同时获取EBSD图和EDS超图，而无需了解所有当前阶段，可以最大程度地减少SEM使用。随后将包含EDS和EBSD数据的地图脱机处理，以识别存在的所有阶段并使用ESPRIT 2’以舒适而有效的方式进行超快速重新分析速度。
图1.2：图案质量图与相位图重叠，显示红色的Si粒；为了最大程度地减少对具有未知类型和阶段数量的样品进行EBSD测量所需的时间，可以在不识别所有阶段的情况下启动采集；所有其他阶段都可以在后来的时间离线确定，并使用ESPRIT软件的极端重新索引功率完成地图
图1.3：使用脱机功能的“ advaced apep iD”功能的功能原理（第I部分）；多种自动和半自动功能可以帮助用户参与此过程，例如基于EDS结果，所有候选阶段的自动和超快索引，基于适合实验模式的自动分类的半自动搜索，自动和超快索引，自动分类等。
图1.4：使用脱机功能的“ Advaced相位ID”功能的功能（第二部分）；在“ Aqua”中染色的区域代表硅藻二氧化硅烷的颗粒（ZRSI2）；地图以超过24,000点/秒的速度重新分析13秒。
图1.5：使用离线的“高级相位ID”功能的功能原理（第三部分）；高度合金的Fe-Si陶瓷材料的完整相图，该材料包含六个不同的晶体学相；重新分析6阶段的重新分析为48秒，速度超过6,500点/秒。没有应用数据清洁！
图1.6：EDS超图显示了高度合金的Fe-Si陶瓷中Ti，Ca，Zr，Ag和C图的分布；地图包含309,000像素中的每个EDS频谱，并以50点/秒的速度同时与EBSD地图同时获取；Ag和C丰富的区域是在抛光过程中填充有Ag糊和环氧材料的样品中的裂纹或孔隙率。