SEM (T-SEM)和STEM中半导体薄片的EDS
按需会话- 60分钟
电子透明样品的定量元素映射
半导体结构的不断小型化需要他们对纳米尺度的理解，以确保适当的设计和失效分析。许多研究需要在高端透射电子显微镜上花费昂贵的测量时间，以及复杂的标本制备和标本转移程序。
我们展示了评估电子透明样品中元素分布的选项，例如FIB片层，使用能量色散x射线能谱不仅在TEM，但也在扫描电镜(图1)或FIB过程中。单，多，环形布鲁克XFlashbob电竞安全吗®检测器可用于快速数据采集。提出了电子透明样品在扫描电镜(所谓的T-SEM)和STEM中定量EDS的有效方法。
此外，EDS与其他分析技术相关，如使用Bruker的非破坏性微x射线荧光分析(micro- xrf)bob电竞安全吗M4龙卷风和透射菊池衍射(跆拳道)使用电子透明样品在扫描电镜。
覆盖在二次电子图像上的半导体薄片中的元素分布(元素线反褶积后的净计数)。采用大采集角环形Bruker XFlash FlatQUAD EDS探测器，采集时间3 min，进行FIB后扫描电镜观察。bob电竞安全吗为了清晰起见，没有显示所有元素。
谁应该参加?
- 来自半导体工厂和实验室的科学家和应用科学家
- 对FIB、样品制备、SEM和TEM-EDS以及相关的元素和结构分析技术感兴趣的教职员工和学生
演讲者
博士Meiken Falke
全球产品经理EDS/TEM, Bruker Nano Analybob电竞安全吗tics
马克斯Patzschke
应用科学家，Bruker Nano Analybob电竞安全吗tics
Purvesh索尼
应用科学家，Bruker Nano Analybob电竞安全吗tics
