半导体片层在SEM (T-SEM)和STEM中的EDS
按需会话- 60分钟
电子透明样品的定量元素映射
半导体结构的持续小型化需要他们在纳米尺度上的理解，以确保合适的设计和故障分析。许多研究需要昂贵的高端透射电子显微镜测量时间，以及复杂的标本制备和标本转移程序。
我们展示了评估电子透明样品中元素分布的选项，例如FIB薄片，使用能量色散x射线能谱不仅在TEM，但也在扫描电镜(图1)或FIB期间。单，多，环形布鲁克XFlashbob电竞安全吗®检测器可用于快速数据采集。本文介绍了电子透明样品在扫描电镜(T-SEM)和STEM中的定量能谱分析的有效方法。
此外，EDS与其他分析技术相关，如使用Bruker的非破坏性微x射线荧光分析(micro- xrf)bob电竞安全吗M4龙卷风透射菊池衍射(跆拳道)在扫描电镜中使用电子透明试样。
覆盖在二次电子图像上的半导体薄片中的元素分布(元素线反褶积后的净计数)。采用高采集角环形Bruker XFlash FlatQUAD EDS检测器进行FIB后扫描电镜观察，采集时间为3min。bob电竞安全吗为了清晰起见，没有显示所有元素。
谁应该参加?
- 来自半导体工厂和实验室的科学家和应用科学家
- 对FIB，样品制备，SEM和TEM-EDS，以及元素和结构分析相关分析技术感兴趣的教师和学生
演讲者
Meiken Falke博士
Bruker Nano Analytics的TEM-EDS全球产bob电竞安全吗品经理
马克斯Patzschke
Bruker Nano Analytics的应bob电竞安全吗用科学家
Purvesh索尼
Bruker Nano Analytics的应bob电竞安全吗用科学家
