使用SEM的大面积映射(超图)可以通过标准SEM阶段的缓慢运动来阻碍。此外,由于电子束的方差和分析过程中的样品相互作用,在低放大倍率下有潜在的X射线信号强度伪像。这与WDS分析特别相关,也可以在BSE图像或EDS元素强度图中观察到。
这快速阶段专门为SEM设计设计,可以使大面积映射到毫米(mm)到厘米(cm)尺度。这将消除潜在的SEM X射线强度变化与低放大映射相关的伪像,从而在以前无法实现的时代庄园中增强元素和矿物学信息。快速阶段还与Micro-XRF。
快速阶段的最大分析面积为50 mm x 50 mm,可以与SEM阶段结合扩展,以涵盖任何SEM室内允许的最大可能的空间区域。使用SEM的传统大面积分析基于镶嵌图,共同创建大面积图,在该图形图中,每个单独的场均通过光栅绘制。与样品相互作用的源X射线光束处于固定位置,因此不能以标准的SEM电子束为栅格。
因此,所有映射都是通过舞台控制(即舞台运动)。因此,快速阶段使大面积的映射速度几乎比从点到点移动SEM级要快几乎要快。示例如图1所示(混凝土),图2(外来Cu)和图3(土壤基岩)。