矿物学样品的大面积面分析

使用sem的大面积面分析(超地图)可能会因标准sem样品台的缓慢移动而受阻。而且，由于电子束的不稳定和分析过程中样本相互作用，在低放大倍率下存在潜在的x射线信号强度缺陷。这种现象在WDS分析中更为常见，有时候也可以在bse图像或eds元素强度图中观察到。

快速样品台专为Sem设计，可实现超过毫米到厘米等级的大样品大面积面分析。这将消除与低放大率面分析相关的潜在问题，而且，由于样品台的移动速度增加，之前测试时间成本较高的矿物学样品也可以进行测试了。快速样品台还可以与微区xrf配合使用。

单独快速样品台的最大分析面积为50毫米x 50毫米,它还可以与SEM原始样品台搭配使用,实现满足SEM腔室更大面积的分析。传统上,使用SEM的传统大面积分析方法(将许多图片镶嵌在一起以创建大面积拼图)其中每个单独的区域都通过栅格让电子束进行面分析。而与样品交互的x射线光源则处于固定位置，因此不能使用标准sem电子束所用的栅格进行处理。

因此，所有面分析都需要通过样品台控制（就是样品台运动）。将sem样品台从一点移动到另一点时，快速样品台使大面积的面分析速度几乎快一个数量级。图1(混凝土)，图2(Cu矿)和图3(土壤基岩)为示例。