使用扫描电镜进行大面积映射(hypermap)可能会受到标准扫描电镜工作台移动缓慢的阻碍。此外,由于分析过程中电子束和样品相互作用的变化,在低倍率下存在潜在的x射线信号强度伪影。这与WDS分析尤其相关,也可以在BSE图像或EDS元素强度图中观察到。
的快速的阶段是专门为sem设计的,可以实现毫米(mm)到厘米(cm)尺度的大面积映射。这将消除与低倍率映射相关的潜在SEM x射线强度变化工件,从而在一个古老的庄园中增强以前不可能获得的元素和矿物学信息。快速阶段也与micro-XRF.
快速级的最大分析面积为50mm × 50mm,可与扫描电镜级结合扩展,以涵盖任何扫描电镜室中允许的最大可能的空间面积。使用扫描电镜的传统大面积分析是基于将多个视场拼接在一起来创建大面积地图,其中每个单独的场通过光栅束映射。与样品相互作用的源x射线束处于固定位置,因此不能控制为标准的扫描电镜电子束光栅。
因此,所有的映射都是通过阶段控制(即阶段移动)进行的。因此,与从一点移动em阶段相比,快速阶段能够使大片区域的映射速度几乎快一个数量级。示例如图1(混凝土),图2(外来铜)和图3(土壤基岩)所示。