使用SEM中的茎层（T-SEM）对半导体结构进行高分辨率映射

具有基于X射线的方法的半导体纳米结构的元素分布映射并不总是直接的。在研究半导体材料时，纳米级空间分辨率和X射线峰重叠的需求是常见的挑战。SEM在传输模式（T-SEM）有时可以代替昂贵的TEM。本示例显示了高分辨率eds使用环形在SEM中获得的半导体结构的地图Xflash^®扁平EDS检测器具有4个SDD象限，在样品和SEM Pole片之间排列了径向对称性。该地图以20 kV获取，使用220 pa梁电流。Xflash的高灵敏度^®扁平检测器允许在SEM中获得优于10 nm空间分辨率（见图2）。尽管X射线峰重叠，但由于Bruker中实现的峰值反卷积模型，硅（SI）和钨（W）可以在地图中得到很好的区分。bob电竞安全吗Esprit软件（见图1）。