Xflash Flatquad

Xflash^®Flatquad，核心的核心Quantax扁平，基于一个新颖的探测器概念。这包括将检测器从极点和样品之间的侧面定位。因此，将检测器安装在SEM腔室的水平端口上。传统的探测器很少延伸到杆子下面，需要一个倾斜的端口。为了确保与许多不同的SEM类型的兼容性，可以精确地将检测器定位在X，Y和Z方向上。

Xflash的四个独立的硅漂移检测器芯片^®latequad在检测器模块中的一个孔周围的环形布置中。主电子束穿过这个开口。这种设计，以及保持探测器手指尽可能薄的意图，需要一种新的方法来防止反向散射电子到达检测器芯片。该探测器配备有不同厚度的特殊聚合物窗口。它们吸收了反向散射的电子，同时允许X射线通过。聚合物窗口安装在滑块中，该滑块允许更改它们而不会影响真空。当检测器处于测量位置时，这使得SEM加速度电压发生变化。

位置和大小（4×15毫米²检测器芯片的活性区域）在SEM中为X射线收集提供了最大的实体角度。根据特定的几何条件，可以结合60°或更高的高起飞角度结合使用超过1 sr。收集效率会导致计数率极高。因此，所有四个检测器芯片均配备了单独的信号处理通道。这允许输入计数率（ICR）高达4,000,000 cps和最高1,600,000 CP的组合输出计数率（OCR）。Xflash^®Flatquad在MNKα和100,000 CPS输入计数速率（在C K时为51 eV和F K时为60 eV）提供了出色的能量分辨率。也提供129 ev和133 eV的分辨率类别。