半导体微芯片材料中的元素识别

导电陶瓷材料硅化钨用于微电子学，如微芯片。硅化钨也可以作为耐火相出现在半导体材料中，如硅晶圆。

为了在质量控制期间实现微纳米级的高空间分辨率，分析必须在较低的加速电压下进行，使这些相的识别复杂化。在较低的加速电压下，只有与衬底Si Kα线严重重叠的钨M系能线产生。

主要元素的EDS峰稍微变宽，掩盖了第二相的存在。与之相反，W等元素是使用置信度进行识别的QUANTAX改进算法由于其优越的光谱分辨率。