半導体マ邮箱クロチップ材料における元素同定

導電性セラミック材料であるタングステンシリサイドは,マイクロチップなどのマイクロエレクトロニクスで使用されています。タングステンシリサ，ドは，Siウエハなどの半導体材料において安定層として使用することもあります。

品質管理中にマイクロレベルとナノレベルで高い空間分解能を実現するためには,低加速電圧で解析を行う必要があり,これらの相の同定が複雑になります。低加速電圧では,基板如果Kα線と大きく重なっているタングステンのMシリーズのエネルギーラインのみが生成されます。

結果として得られる一次元素のedsピクはわずかに広がり，第2相の存在を覆う隠します。それとは対照的に，優れたスペクトル分解能によりQUANTAX改进算法を使用して十分wなどの元素を識別することが可能です。