半导体微芯片材料中的元素识别

硅化钨是一种导电陶瓷材料，用于微电子学，如微芯片。硅化钨也可以作为耐火相出现在半导体材料中，如硅晶圆。

为了在质量控制期间实现微纳米水平的高空间分辨率，分析必须在低加速电压下进行，使这些相的识别复杂化。在低加速电压下，只有与衬底硅Kα线严重重叠的钨M系列能量线产生。

由此产生的主要元素的EDS峰略有加宽，掩盖了第二相的存在。与此相反，像W这样的元素是使用置信度来识别的QUANTAX改进算法由于其优越的光谱分辨率。