半导体微芯片材料中的元素鉴定

电导导电陶瓷材料钨硅化硅硫剂用于微芯片等微电子。钨硅钨硅也可能是半导体材料（例如Si wafers）的难治阶段的发生。

为了在质量控制过程中实现高空间分辨率，必须以低加速电压进行分析，从而使这些相的识别变得复杂。在低加速电压下，仅生成与底物SiKα线严重重叠的钨M系列能量线。

原始元素的结果EDS峰略有宽阔，并掩盖了第二相的存在。与此相反，使用诸如W之类的元素使用Quantax WDS由于其优越的光谱分辨率。