Nanosheet发展

该堆栈由多个Si和SiGe层组成。现有的HVM计量方法不能很容易地区分各个层，但会报告一个平均值。

用XRR和HRXRD直接分析了多层叠层中各层的厚度和组成。

• 厚度测量使用x射线反射率(XRR)
• 这些结果被前馈到高分辨率衍射(HRXRD)建模以获得最佳结果

这些测量是我们全自动仪器的常规操作JVX7300LSI系统．

x射线衍射(XRD)和x射线反射仪(XRR)是对多层样品结构进行无损分析的强大方法，并提供关于绝对层厚度、密度和成分的高精度信息。
与D8发现家庭而且D8 ADVANCE Plus布鲁bob电竞安全吗克提供广泛的XRD解决方案，以满足半导体市场在研发方面的需求。
DIFFRAC。LEPTOS，布bob电竞安全吗鲁克强大的薄膜分析套件，允许同时细化XRR和HRXRD数据，以最大限度地提高信息产量。

功能层厚度的减小使得有意义的涂层厚度测量成为一项非常具有挑战性的任务。Micro-XRF可以测量从个位数纳米到几十微米的厚度，这取决于目前的元素。对于高灵敏度的材料，即使是亚单层也可以分析，通常是测量每个区域的沉积质量而不是厚度。