Nanosheet发展
简介
Nanosheet发展
未来的节点将实现纳米片技术。在该技术中，测量和控制多个外延层的单个厚度和组成是一个挑战。
x射线计量
这些测量在JVX7300LSI系统中是常规的
堆叠由多个Si和SiGe层组成。现有的HVM度量不能很容易地区分各个层，但会报告一个平均值。
用XRR和HRXRD分析了毯层、多层叠层中各层的厚度和组成。
- 用x射线反射率(XRR)测量厚度
- 这些结果被前馈到高分辨率衍射(HRXRD)建模中以获得最佳结果
这些测量是我们全自动仪器的常规JVX7300LSI系统．
外延多层膜的结构分析
x射线衍射(XRD)和x射线反射(XRR)是对多层样品结构进行无损分析的有力方法，可以提供非常精确的绝对层厚、密度和成分信息。
与D8 DISCOVER Family而且D8 ADVANCE Plus， bob电竞安全吗Bruker提供广泛的XRD解决方案，以满足半导体市场在研发方面的要求。
DIFFRAC。LEPTOS， bob电竞安全吗Bruker强大的薄膜分析套件，允许同时细化XRR和HRXRD数据，以最大化的信息产量。
Micro-XRF
Micro-XRF
功能层厚度的不断减小使得有意义的涂层厚度测量成为一项非常具有挑战性的任务。Micro-XRF可以测量的厚度范围从个位数纳米到几十微米，取决于目前的元素。对于高灵敏度的材料，甚至亚单层也可以分析，通常测量的是每个区域的沉积质量而不是厚度。
