扫描扩散电阻显微镜(ssrm和ssrm - hr)

发光二极管(LED),光电探测器和二极管激光器基于半导体技术,其开发和制造取决于以高分辨率测量其两维电气性能的能力。

扫描扩散电阻显微镜(ssrm)与扫描电容显微镜(scm)一样，可在半导体样品表面实现同步地形成像和2d载波密度映射。SSRM将高力的接触模式反馈与宽范围放大器结合使用，从而获得扩散电阻和载波密度的测量。

尺寸图标^®SSRM-HR封装在2 d载波密度映射中实现了最高的空间分辨率和可重复性,因此成为领先半导体工作的首选配置。