扫描扩散电阻显微镜（SSRM和SSRM-HR）

发光二极管（LED），光电探测器和二极管激光器基于半导体技术，它们的发育和制造取决于能够以高分辨率在两个维度中测量其电气性能。

扫描扩散电阻显微镜（SSRM），例如扫描电容显微镜（SCM），在半导体样品表面上启用同时的地形成像和2D载体密度映射。SSRM雇用联系模式高力反馈与宽范围的放大器结合使用，以获得扩散电阻的测量，从而获得载体密度。

这尺寸图标^®SSRM-HR软件包可在2D载波密度映射中实现最高的空间分辨率和可重复性，使其成为前缘半导体工作的首选配置。