扫描扩散电阻显微镜(SSRM和SSRM- hr)

发光二极管(led)、光电探测器和二极管激光器是基于半导体技术的，它们的开发和制造取决于以高分辨率测量其二维电学性质的能力。

扫描扩散电阻显微镜(SSRM)，比如扫描电容显微镜(SCM)，可同时在半导体样品表面进行地形成像和二维载流子密度映射。SSRM雇佣了联系方式在大范围放大器的合力反馈下获得扩展电阻的测量，从而获得载波密度。

的维图标^®SSRM-HR封装在二维载流子密度映射中实现了最高的空间分辨率和可重复性，使其成为前沿半导体工作的首选配置。