微区xrf与sem的结合使得在单个系统中能够以多个尺度分析样品,从厘米到毫米到微米甚至微米以下。因此,通过将微区光谱仪添加到扫描电镜上,将扫描电镜转换为双源系统,这意味着有两个信号激发源,即电子束和X射线光子束。任何一个源都可以单独使用,也可以同时用于生成样品特征X射线,样品将使用相同的EDS探测器进行测量。此外,可以利用每种分析技术的好处:(一)光谱仪源的背景非常低,这意味着可以观察到低至10 ppm的元素浓度(与元素和样品基体相关),以及更大的信息深度,这意味着可以查看样品表面下面的结构或元素,例如,即使在非常低浓度时,也可以检测到表面下的内含物;(二)电子束可以聚焦到极小的区域,并产生极高分辨率的信息。
这种组合现在可以在单个系统中创建新的工作流。例如,可以快速扫描一个大的岩石样本,在这种情况下,使用微区x射线荧光分析一个来自Karangahake浅成热液的含金样品,可以确定含Au的晶粒(图1和2)。随后,可以利用电子束以更高的分辨率分析这些我们"感兴趣区域"(图3)。因此,这种双光束系统可以同时识别大尺度(厘米至毫米)的相关信息,又能高效、准确地执行详细的小尺度(mm到μm)分析。