탐사및마이닝을위한이중소스응용프로그램:Au베어링에피열샘플

마이크로-xrf와sem의결합을통해센티미터(cm)에서밀리미터(mm)에서마이크로미터(μm)및독방시스템내이하의여러스케일에서샘플을분석할수있습니다。따라서,SEM에마이크로光谱仪를첨가함으로써이중소스시스템으로변환되며,이는e -빔및광자빔이라는두개의여기소스가있음을의미한다。동일한EDS검출기를사용하여측정할샘플X선을생성하는소스중하나를개별적으로또는동시에사용할수있습니다。또한,각분석기술의이점을활용할수있다:(i)光谱仪소스는매우낮은배경을가지며,이는10 ppm(요소및매트릭스의존)까지요소농도를관찰할수있다는것을의미하며,이는샘플표면아래에구조또는요소를볼수있음을의미합니다。예를들어，@ @면아래에있는포함은매우낮은농도에서도검출될수있습니다。(2)전자빔은매우작은영역에초점을맞추고매우고해상도정보를얻을수있습니다。

이러한조합은이제단일시스템내에서새워크플로를만들수있습니다。예를들어,큰암석샘플을신속하게스캔할수있으며,이경우카랑가하케에피열퇴적물에서오베어링스피멘을마이크로光谱仪를이용하여스캔할수있다。非盟베이를통해어링곡물(도1및2)을포함하는관심영역을식별할수있습니다。이어서,전자빔을이용하여훨씬더높은해상도로이러한”관심영역”을분석할수있다(도3)。따라서,이러한듀얼빔시스템은상세한작은규모(毫米~μm)를가능하게하기위해대규모(cm ~毫米)에대한관련정보를동시에식별할수있어효과적이고정확하게수행될수있다。