的结合用扫描电镜micro-XRF使分析样品的潜力在多个尺度,从厘米(厘米)毫米(毫米)到微米(微米)和以下在一个单独的系统。因此,通过将微- xrf添加到扫描电镜,就转化为双源系统,这意味着有两个激励源,电子束和光子束。这两种光源都可以单独使用,也可以同时使用,生成x射线样本,用同一台EDS探测器进行测量。此外,可以利用每种分析技术的优点:(i) XRF源具有非常低的背景,这意味着可以观察到元素浓度达到10ppm(取决于元素和基质),以及更大的信息深度,这意味着可以看到样品表面下的结构或元素。例如,即使浓度很低,也可以检测到表面以下的夹杂物;(ii)电子束可以聚焦到极小的区域,并产生极高分辨率的信息。
这样的组合现在可以在单个系统中创建新的工作流。例如,使用微x射线荧光可以快速扫描一个大型岩石样品,在本例中是来自Karangahake浅低温热液矿床的含金spimimen。这使得识别感兴趣的区域包括含金晶粒(图1和图2)。随后,可以使用电子束以更高的分辨率分析这些“感兴趣的区域”(图3)。因此,这种双束系统可以同时识别大尺度(cm到mm)的相关信息,从而使详细的小尺度(mm到μ m)可以有效和准确地执行。