半导体和纳米技术

光电子的领导

bob电竞安全吗Bruker的计量解决方案为生产监控和良率提高提供了精确和可重复的测量。

LED Epi层监控

HRXRD可以很好地用于表面层的测量。的力量bob电竞安全吗QCVelox-E是LED监控领域最先进的领导者,并广泛应用于整个行业。

QCVelox-E能够实现完全自动化,高通量HRXRD测量,以及自动拉德分析报告结果,使客户无需x光专家分析数据就能监控其过程。可选的SECS-GEM工厂主机软件和机器人加载可完成系统的自动化。

半导体衬底的常规分析

提高花纹蓝宝石衬底的性能和良率

了解花纹蓝宝石衬底(PSS)的纳米尺度尺寸对下一代材料的开发和保持生产质量至关重要。bob电竞安全吗力量的三维光学分析器提供快速,准确的测量高度,螺距和直径的PSS功能。

广泛的自动化功能使众多站点的操作人员独立计量,从而可以很好地理解和控制跨晶圆的工艺变化。

此外,光学分析器而且笔分析器用于表征荧光粉层的粗糙度、厚度和形状,这些荧光粉层用于从底层蓝色LED产生白光。这些性质对光的转换效率有很大的影响,也会影响照明的颜色和均匀性。

PSS结构的亚纳米计量

当花纹蓝宝石衬底的间距低于2微米时,光学技术无法达到提供有价值的工艺测量所需的分辨率,原子力显微镜(AFM)提供精确的解决方案。它们提供亚纳米分辨率,并能够测量所有必要的数据,以保持PSS制造过程处于控制之下。

光电器件的晶粒织构与元素分析

了解元素组成和晶体学性质在纳米到微米尺度上的特征是理解现代光电器件的性能和行为的必要条件。bob电竞安全吗Bruker提供了各种电子显微镜分析仪来研究这些性质在扫描电镜和透射电镜系统。bob电竞安全吗布鲁克的电子显微镜分析仪等EDS对扫描电镜而且TEMEBSD改进算法而且Micro-XRF,允许分析纹理(EBSD)和元素分布到ppm,具有高空间分辨率,也可以在分层材料(Micro-XRF)。特别快速的分析,如在质量控制或大样本区域的需要,可以使用高收集角度的设备,如布鲁克bob电竞安全吗XFlash®FlatQUAD探测器。

激光和LED发射,电致发光

傅立叶变换红外发射光谱是分析新型红外光源、激光、led或电致发光的理想工具。研究系列FT-IR光谱仪的最高光谱分辨率允许完全分辨激光模式。时间分辨率测量与时间分辨率低纳秒范围,使单激光脉冲的采集成为可能。利用锁定技术的调幅阶跃扫描为记录非常微弱的发射信号提供了可能。对于毫米或μ m范围内的小发射体,适用于研究光谱仪的红外显微镜提供了优异的横向分辨率和发射显微镜的最高灵敏度。

用FT-IR对探测器进行测试和表征

自行研制的红外探测器可以用布鲁克FT-IR研究光谱仪进行测试和表征。bob电竞安全吗单元素探测器可以直接适用于研究系列光谱仪的外部光学。对于焦平面阵列(FPA)探测器的表征,有专门的外部测量模块可用。