当花纹蓝宝石衬底的间距低于2微米时,光学技术无法达到提供有价值的工艺测量所需的分辨率,原子力显微镜(AFM)提供精确的解决方案。它们提供亚纳米分辨率,并能够测量所有必要的数据,以保持PSS制造过程处于控制之下。
傅立叶变换红外发射光谱是分析新型红外光源、激光、led或电致发光的理想工具。研究系列FT-IR光谱仪的最高光谱分辨率允许完全分辨激光模式。时间分辨率测量与时间分辨率低纳秒范围,使单激光脉冲的采集成为可能。利用锁定技术的调幅阶跃扫描为记录非常微弱的发射信号提供了可能。对于毫米或μ m范围内的小发射体,适用于研究光谱仪的红外显微镜提供了优异的横向分辨率和发射显微镜的最高灵敏度。
自行研制的红外探测器可以用布鲁克FT-IR研究光谱仪进行测试和表征。bob电竞安全吗单元素探测器可以直接适用于研究系列光谱仪的外部光学。对于焦平面阵列(FPA)探测器的表征,有专门的外部测量模块可用。