尺寸边缘PSS原子力显微镜
领导基板和外延片的理想计量和检测系统
高亮
尺寸边缘PSS
布鲁克的维度边缘™PSS原子力显微镜与AutoMET™软件是LED基板和外延片制造商最理想的纳米计量和纳米检测系统。作为维度边缘AFM平台的延伸,边缘PSS融合了维度AFM系统广为人知的扫描技术和超高分辨率,同时也为半导体基片生产提供了测量的解决方案。
纳米
分辨率
分析PSS基板的每个关键参数。
< 0.2海里
噪音地板
提供裸基材和表皮粗糙度测量。
生产级
易用性
在价值合理的工业afm中提供最佳的用户体验。
功能
PSS分析的最高分辨率
随着蓝宝石基板PSS结构的间距趋微近2米,传统的共聚焦技术失去了提供有价值的工艺测量所需的分辨率。尺寸边缘PSS原子力显微镜（AFM） 拥有亚纳米分辨率和一次测量多达 9 个 2 英寸晶圆（或单个 4 或 6 英寸晶圆）的能力，能够解决测量中的高分辨、高效的需求，提供了PSS 制造过程所需要进行的大量检测数据。
除了维边缘PSS内置的特定PSS测量功能外,该系统还集成了布鲁克维显微镜系列著名的扫描技术,适用于外延粗糙度测量中高分辨率,低噪声的要求,包括了轻敲模式,接触模式,相位测量等标准的AFM模式以及AFM专有的抬高模式。
平顶图案:蓝宝石基板的3d afm图像。
高级PSS计量能力
尺寸EDGE PSS系统能够对PSS结构进行深入分析。
维边缘PSS AFM提供纳米分辨率,用于分析PSS基板的每个关键参数,同时可以进行但晶圆的多点以及多个晶圆的多点测试。布鲁克的专用PSS分析包可以同时提供:
- 高度、宽度和间距
- 侧壁角度和特征轮廓
- 不对称识别和测量
- 污染识别
- 转弯识别和转弯角度
- 平顶识别
业界领先的AutoMET软件
维边缘PSS系统集成了专门设计用于满足了制造要求的AutoMET软件。该软件具有两种不同级别的操作模式：
操作员级别:简单的用户界面,一步步指导用户完成探针更换,激光对齐,曲调探针和确认探针安装的步骤。一键完成多达9个晶圆" "合格/失败" "的分类测试结果的自动输出，
工程师级别:受密码保护的用户界面，工程师可以访问所有关键的afm参数。在这种模式下，制程工程师可以轻松设置所有必需的" "通过/失败"检测"标准。
维边缘PSS通过轻松的激光对准,自动生成报告的方式提高了系统的可操作性,使用户感受到有史以来最佳的AFM用户体验。
