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为了补偿透明薄膜或包装材料造成的干涉条纹,在分束器和参考镜(浅蓝色盒)之间插入一层材料和厚度相同的玻璃。从而有效地消除了设备包装材料产生的任何干扰。
完整MEMS器件的三维数据集
装有200 μ m玻璃的MEMS装置
20µm台阶高度标准,3mm覆盖玻璃