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为了补偿由透明膜或包装材料引起的干扰条纹,在Beamsplitter和参考镜(浅蓝色的盒子)之间插入了等材料和厚度的杯子。因此有效地取消了设备包装材料产生的任何干扰。
完整MEMS设备的3D数据集
带有200µm玻璃的MEMS设备
20μm步长标准,带有3mm盖玻璃