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透明フィルムまたは包装材料によって引き起こされる干渉縞を補償するために,等しい材料と厚さのガラスは,ビームスプリッターと参照ミラー(水色のボックス)の間に挿入されます。したがって、デバ以及スの包装材料に起因する干渉を効果的に取り消す。
無傷のmemsデバ3dデ
200μmガラスを搭載したMEMSデバereplicationス
3mmカバガラスを備えた20μmステップ高さ標準