스캐닝웨어

마모패턴은사용자가미리정의한지정된힘으로샘플을스캔하는래스터에의해만들어집니다。검사는하나의테스트내에서동일한영역을통과하는단일패스또는여러패스로구성될수있습니다。

공지된힘을적용하고이힘이적용되는패스수를선택함으로써,마모스캔중에제거되는물질의양은시내이미징기술을사용하여사후검사를측정할수있다。

스캐닝웨어는그림1에서볼수있듯이다양한하중에서착용하고한샘플에서여러마모실험을수행할수있습니다。이실험에는하드드라이브의DLC필름코팅에대한하중및패스수증가에서수행된여러개별마모테스트가포함되었습니다。각마모테스트에서제거된물질의양은인-시투이미징을사용하여측정하였다(그림2참조)。

SPM이미징이제공하는정확한위치는도3에도시된바와같이표면에서나노머시닝및나노패터닝을가능하게합니다。이연구에서는，2개의마모패턴은란타눔산화물에서나노가공되었습니다。하나의패턴은5μm x 5μm사각,형다른하나는1.25μm x 5μm사각형으로구성되었다。패턴은1μm미만을분리하였고,산화물층은기판을선택적으로드러내기위해제거되었다。