AutoMET소프트웨어

브루커의AutoMet™소프트웨어는까다로운생산환경에대량의정밀한AFM측정을제공합니다。차원FastScan및维度图标시스템에사용할수있는AutoMET은고해상도AFM이미징과빠르고자동화된계측을독특하게결합할수있습니다。생산、QA / QC또는기타대용량측정애플리케이션에서중요하고품질측정을위한탁월한사용용이성과적응성을제공합니다。

AutoMET를사용하면다음을수행할수있습니다。

데이터스토리지슬라이더샘플및베어및패턴웨이퍼에서사용자정의자동화된나노스케일측정최대300밀리미터

광학및AFM이미지패턴인식,팁센터링,풀웨이퍼또는그리드매핑지원,수십나노미터내이미지배치정확도

고급사용자를위한포괄적이지만간단한레시피작성

시료를프로브에정렬하고정렬보정을수행하기쉬운설정

미리정의된레시피를사용하여수천개의샘플에서복잡한측정을쉽게수행할수있는레시피모드를실행합니다。

AutoMET에는직관적이고간단한레시피작성환경이포함되어있어복잡한측정루틴을간단하고푸시버튼작업으로쉽게줄일수있습니다。모든경험수준의운영자는미리정의된레시피를실행하여수천개의샘플에대한상세하고정확한측정을얻을수있습니다。