原子力显微镜

AutoMET软件

增强了Dimension系统的纳米级自动化

bob电竞安全吗Bruker的AutoMET™软件为苛刻的生产环境带来了高容量、精确的AFM测量。可用于维FastScan而且维图标AutoMET独特地实现了高分辨率AFM成像与快速自动化计量的结合。它为生产、QA/QC或其他大容量测量应用中的关键质量测量提供了出色的易用性和适应性。bob平台靠谱吗

AutoMET使:

  • 用户自定义的自动纳米级测量在数据存储滑块样品和裸片和图案化晶圆上的用户自定义位置,最高可达300毫米
  • 光学和AFM图像模式识别,尖端定心,全晶片或网格映射支持,图像放置精度在数十纳米以内
  • 全面而简单的食谱为高级用户写作
  • 易于设置对齐样品探针和执行校准校正
  • 运行配方模式,可以使用预定义的配方轻松地对数千个样品执行复杂的测量

AutoMET包括一个直观而简单的食谱编写环境,可以非常容易地将复杂的测量例程简化为简单的按钮操作。所有经验水平的操作员都可以通过运行预先定义的配方对数千个样品进行详细、准确的测量。

图A提供了一个配方窗口,显示了用户定义的矩形或正方形扫描区域上的测量位置的基于网格的布局。图B展示了一个配方窗口,显示了精确的、用户定义的X、Y测量位置的基于晶圆的布局。