QUANTAXμ光谱仪
最小限のサンプル準備による高い元素感度
広域での高速元素x線マッピング
フィルム厚さ分析
ハ邮箱ラ邮箱ト
10 ppm
検出限界
低いスペクトル背景によって微量元素分析が可能
4毫米/秒
移動速度
オプションのラピッドステジにより，広いエリア上での高速マッピングが可能
1 nm ~ 40 μm
層の厚み範囲
1 nmから40μmの多層構造までの薄膜を解析可能
semでのeds分析に対する補完的な分析技術としてのμxrf
- 微小部蛍X光線分析(μ光谱仪)は,従来のエネルギー分散型X線分光分析(EDS)に補完的な非破壊分析技術です。このような分析は,大きなセンチメートルサイズの不均一なサンプルから小さなマイクロメートル粒子に至るまでの,未知のサンプル内の元素組成の解析に重要です。
- X線励起により，微量元素の検出(特定の元素では最低10 ppm)や拡張されたx線スペクトル範囲(最大40 keV)、サンプル内のより深い場所の情報に対して、はるかに高い感度が得られます。
- マ邮箱クロフォ邮箱カスのx邮箱線光学系とx邮箱線管により，邮箱高強度の効率で30μmの小さいスポットサ邮箱ズが得られます。
- 既存のSEMステージの上に取り付けるために特別に設計されたモジュラー型ピエゾステージは,大きな領域上に4 mm /秒の速度での高速元素x線マッピングを可能にします。これにより50 x 50 mm以上のサンプルサイズでx線マッピングデータを取得でき,軽元素のスペクトルデータだけでなく,微量元素や高エネルギーのx線データを迅速かつユーザーフレンドリーなワークフローで取り込むことができます。
- より深い位置でのX線励起により，1nmの薄さから電子励起では不可能な最大40μmまでの多層系の解析を可能にします。
利点
μxrfおよびラピッドステジによるsem分析能力の拡大
- 電子ビームとX線ビームのデュアルビームは,材料の特性評価のための新しい可能性を提供します——両方のビームで同時にサンプルを調査します。
- 同じ検出器を使用して同時に電子ビーム/μ光谱仪取得し,軽元素のスペクトルデータだけでなく,微量および/またはより高いエネルギーX線データが得られます。
- XTraceとラピッドステジの両方が， espritソフトウェアにシムレスに統合されています。
- EDSとμ光谱仪の定量により,電子励起のより良い軽元素感度と光谱仪のより良い微量元素感度を組み合わせることによって,より完全なサンプル特性評価が可能になります。
- 両方の世界からの利点を組み合わせるμxrfと電子ビム励起による同時マッピング.使用实例μXRFによる重元素を使用して，電子ビムによる軽元素(CからNa)を励起します。
- 分離されたピークと拡張されたスペクトル範囲により,複雑性が低く重なりが少ないため,高エネルギーのK線を観察することができます。
- 最小のサンプル準備-導電性のサンプル表面や広範な研磨は必要ありません
- 非標準および標準ベスの定量化
