硅衬底中的晶体缺陷
XRDI
x射线衍射成象
x射线衍射成像(XRDI，也被称为x射线地形)是用来成像晶体缺陷在其他完美(或接近完美)的基材。在硅基板制造中，即使在镜面蚀刻前或磨削后，也要对不制备样品的锭片进行成像。从铸锭上的缺陷图可以指示在晶圆上开始切片的位置，以获得好的晶圆。由于不需要样品蚀刻，这就减少了生产环境中使用的有害蚀刻酸的数量。
对生产的即时反馈
XRDI还可以用于识别加工后晶圆边缘上的任何裂纹或滑移，并且添加了一个迷你环境和边缘夹样处理，可以对产品进行最终的质量检查。
QCTT工具的完全自动化特性允许缺陷映射被提取，并通过SECS/GEM自动报告，以即时反馈给生产。
Micro-XRF
Micro-XRF
在大晶体中，大多数缺陷都伴随着晶格常数的变化和/或晶体取向的变化。这些变化将导致微xrf光谱中的布拉格峰的变化。由于Bruker的微型xrf解决方案，它们可以在大范围内被绘制出来。bob电竞安全吗
能量色散微- xrf晶体域快速映射
在能量色散XRF中，布拉格衍射峰通常被认为是干扰荧光信息的麻烦的伪影。然而，这些布拉格峰，因为它们与晶体取向有关，提供了关于样品性质的额外信息。在这里，我们描述如何M4龙卷风可以用来可视化晶体域。这些信息对于评价单晶的质量以及多晶材料的性能是至关重要的。该原理可用于识别单晶中的亚晶取向偏差以及多晶样品中的晶体尺寸。
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