硅衬底的晶体缺陷
XRDI
x射线衍射成像
x射线衍射成像(XRDI，也称为x射线地形学)是用来成像晶体缺陷在其他完美(或接近完美)基材。在硅衬底制造中，不需要样品制备，甚至在镜面蚀刻之前或研磨后直接对铸锭滑块进行成像。铸锭上的缺陷图可以指示晶圆上的位置，以便开始切片以获得好的晶圆。由于不需要样品蚀刻，这就减少了生产环境中有害蚀刻酸的使用量。
对生产的即时反馈
XRDI还可用于识别加工后晶圆边缘上的任何裂纹或滑移，并且增加了一个迷你环境和边缘抓手样品处理，可以对产品进行最终质量检查。
QCTT工具的全自动特性允许缺陷图被提取出来，并通过SECS/GEM自动报告，以便即时反馈给生产。
Micro-XRF
Micro-XRF
在大晶体中，大多数缺陷都与晶格常数和/或晶体取向的变化有关。这些变化将导致微xrf光谱中的布拉格峰的变化。由于Bruker的micro-XRF解决方案，它们可以在大范围内进行测绘。bob电竞安全吗
基于能量色散微xrf的快速晶体域映射
在能量色散XRF中，布拉格衍射峰通常被认为是干扰荧光信息的一个麻烦的伪影。然而，这些布拉格峰，因为它们与晶体取向有关，提供了关于样品性质的额外信息。在这里，我们描述如何M4龙卷风可以用来可视化晶体域。这些信息对于评价单晶的质量以及多晶材料的性能至关重要。该原理可用于识别单晶中的亚晶粒取向偏差以及多晶样品中的晶体尺寸。
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