FastScan职业
用于工业研发的自动化纳米计量学
做marquants
Dimension FastScan Pro
Dimension FastScan Pro提供了当今任何工业AFM中最高的计量级速度和性能。该系统能够实现自动化或半自动化测量，同时确保最大程度的易用性和最低的成本，每次测量的质量控制，质量保证和故障分析。
专有的
AFM生产技术
实现行业领先的表面表征。
无可匹敌的
服务与支持
通过提高运营效率降低成本。
自动化
AFM扫描
提供可靠、无缝的测量工作流程。
的特性
生产的多功能性
FastScan Pro利用开放访问平台，大型或多个样品持有人，以及众多易于使用的功能，为工业QA, QC和FA应用提供灵活的高性能纳米级计量。bob平台靠谱吗该系统可为半导体、数据存储和HB-LED提供自动2英寸至12英寸晶圆测量。它具有增加的XY样品旅行完全访问200mm晶圆或200mm直径区域的多个样品，可选的300 mm晶圆卡盘。该系统还提供了高通量5-10倍FastScan扫描仪，用于地形、粗糙度和其他计量分析，或具有90µm扫描范围的Icon扫描仪，用于更大的扫描和高精度地形性能。
强大的自动化软件
AutoMET™全配方软件提供快速、自动化的计量、简单的操作和AFM适应性，轻松捕获生产所需的关键到质量的测量。该软件允许对多个样品或单个大样品进行自动测量，以在多个位置进行纳米级表征。它还提供光学和AFM图像模式识别，尖端定心，全晶圆或网格映射支持，以及数十纳米以内的图像放置精度。全面，但简单，食谱编写为高级用户提供实时和离线使用。
简单的测量配方创建允许工程师通过名称定义位置，在每个位置分配任何类型和数字测量。
配方窗口显示晶圆内精确的、用户定义的X-Y测量位置的基于晶圆的布局。
精确的探针-样品控制
Dimension FastScan Pro提供最精确的探针-样品控制，允许最广泛的样品类型，从软聚合物，薄膜和电气样品到非常硬的材料。
独特的技术可以精确地对样品上的任何原子施加力。这种精确的探针到样品控制允许最广泛的样品类型，从软聚合物，薄膜，电子样品到硬材料。它还提供最低可用成像力和长探针尖端寿命超过数百啮合和数据扫描。
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Dimension FastScan Pro数据库
由于探头振荡的阻尼过大，典型的成像模式难以成像沟槽。ScanAsyst很容易到达战壕底部。在本例中，通常使用标准Bruker探头测量深度为~ 65nm和宽度为~ 50nm的沟槽。bob电竞安全吗
半自动24/7操作，使用Dimension AFM来表征3D几何结构，用于过程控制。
极平玻璃基板具有低粗糙度值Rq=0.194nm, Ra=0.153nm。
碱铝硅酸盐平板玻璃的主要特性是其强度和抗划伤性，这使得对其纳米形貌的一致性和可靠性测量具有挑战性。使用FastScan AFM和单个Bruker HPI探头，第一bob电竞安全吗幅图像(a)呈现粗糙度Rq=0.99 nm, Ra=0.79。没有形象。615 (B)呈现相同的粗糙度;Rq=0.99 nm, Ra=0.79。插页是扫描编号的数码放大图像。1和no。615显示出不明显的地形变化。