FastScan职业
用于工业研发的自动化纳米测量
突出了
维FastScan职业
维FastScan Pro提供了最高的计量水平的速度和性能的任何工业AFM今天可用。该系统能够实现自动化或半自动化的测量，同时确保最大程度的易用性和每次测量的最低成本，用于质量控制、质量保证和故障分析。
专有的
AFM生产技术
实现行业领先的表面表征。
无可匹敌的
服务和支持
通过运营效率降低成本。
自动化
AFM扫描
提供可靠、无缝的测量工作流程。
特性
生产的多功能性
FastScan Pro利用开放访问平台，大型或多个样品支架，以及众多易用功能，为工业QA, QC和FA应用提供灵活的高性能纳米尺度计量。bob平台靠谱吗该系统提供自动化的2英寸至12英寸晶圆测量，用于半晶圆、数据存储和HB-LED。它的特点是增加了XY样品行程，可完全访问200mm晶圆或在200mm直径区域的多个样品，对300mm晶圆有可选的卡盘。该系统还提供了高通量5-10x FastScan扫描仪，用于地形、粗糙度和其他计量分析，或90 μ m扫描范围的Icon扫描仪，用于更大的扫描和高精度地形性能。
强大的自动化软件
AutoMET™全配方软件提供快速、自动化的计量、简单的操作和AFM适应性，可轻松捕获生产中所需的关键到质量的测量。该软件允许对多个样本或单个大样本进行跨越多个位置的纳米级表征的自动测量。它还提供光学和AFM图像模式识别、尖端定心、全晶圆或网格映射支持，以及几十纳米以内的图像放置精度。全面而又简单的配方编写为高级用户提供了实时和离线使用。
简单的测量配方创建允许工程师通过名称定义位置，在每个位置分配任何类型和数量的测量。
配方窗口显示基于晶圆的布局，用于晶圆内精确的、用户定义的X-Y测量位置。
精确的Probe-Sample控制
Dimension FastScan Pro提供最精确的探针样品控制，允许最广泛的样品类型，从软聚合物，薄膜和电样品到非常硬的材料。
独特的技术使您的样品上的任何原子的精确力。这种精确的探针-样品控制允许最广泛的样品类型，从软聚合物，薄膜，电样品到硬材料。它还提供了最低的可用成像力和长探针尖端寿命超过数百接合和数据扫描。
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维FastScan Pro数据库
由于探头振荡阻尼过大，用典型成像模式难以成像沟槽。scanassist很容易就能到达壕沟的底部。在这个例子中，深度为~ 65nm，宽度为~ 50nm的沟槽通常用标准布鲁克探头测量。bob电竞安全吗
半自动化的24/7操作，使用一个维AFM来描述三维几何过程控制。
极平坦的玻璃基板具有低粗糙度值Rq=0.194nm, Ra=0.153nm。
碱铝硅酸盐平板玻璃的主要性能是强度和耐划伤性，这使得其纳米形貌的测量具有一致性和可靠性。采用FastScan AFM和单一Bruker HPI探针，第一bob电竞安全吗图像(a)呈现粗糙度Rq=0.99 nm, Ra=0.79。没有形象。615 (B)渲染相同的粗糙度;Rq = 0.99 nm, Ra = 0.79。插图是扫描号的数字放大图像。1,没有。615显示了不重要的地形变化。