用于材料研究中高端STEM的大收集角EDS探测器
例子-半导体结构
用于透射电子显微镜的单个EDS探测器必须满足非常特定的几何约束。对于x射线的收集来说，大的立体角是不够的。高起飞角度，合适的准直仪形状或极片盖和适应的标本架几何形状对成功的EDS分析至关重要，有助于保持阴影和系统峰值的检查。一个大的椭圆形探测器区域(如100毫米)2)可以支持在特定情况下对所有这些参数进行优化。然而，对于其他TEM几何结构，受冷阱和极片形状的限制，可能只能通过更小的探测器面积(30毫米2和60毫米2)。只有仔细评估每个显微镜的几何形状才能确保正确的检测器选择。bob电竞安全吗布鲁克探测器的细线设计在上述所有情况下都有帮助。
的XFlash®6 t - 100椭圆形安装在像差校正STEM上，用于评估从FinFET结构制备的截面标本中的元素分布。(数据来源:ACE，图1)。为了正确评估这种半导体结构的化学成分，分离重叠的元素线特别重要，如低能量范围的Ni和Ti, 1.4 keV到2 keV之间的Hf, Si和W，以及10keV左右的Ge和W的重叠线。此外，来自Ga离子磨碎和显微镜内部和标本夹的二次荧光残留物会使分析复杂化。bob电竞安全吗力量的精灵软件提供了轻松解决这些问题的方法(图2)。重叠的元素线很容易被识别。清楚地处理背景模型和背景减法有助于考虑和识别光谱中出现的每一行。系统峰值可以常规识别，并从量化中排除，同时纠正它们对定量结果的影响。相对克利夫-洛勒默因子法和绝对齐塔因子法可用于定量。
本文采用Cliff-Lorimer方法对试件中元素的分布进行了定量分析。使用的理论克利夫-洛里默系数，是从ESPRIT不断更新的原子数据库和已知的探测器-标本几何形状和探测器材料组成中计算出来的。所有元素的分布，包括氮以及铪和钛，根据设备设计，存在于薄层，定量分析。根据得到的数据，可以以纳米的精度评估结构的质量，并可以发现器件失效的潜在原因(图1-3)。
关于高实心角椭圆探测器在其他研究领域的进一步应用，请参考以下同行修订的出版物。bob平台靠谱吗
[1]用x射线光谱学鉴别单个杂原子(开放)
应用物理通讯108卷16期163101 (2016);作者:R. M. Stroud, T. C. Lovejoy, M. Falke, n.d. Bassim, G. J. Corbin, N. Dellby, P. Hrncirik, A. Kaeppel, M. Noack, W. Hahn, M. Rohde，和O. L. Krivanek
[２]室温多铁材料中磁性离子隔断的直接原子尺度测定(开放)
科学报告7，(2017)文章号:1737;作者:L. Keeney等人。
